Печь отжига - технологическое оборудование, используемое при изготовлении полупроводниковых устройств. Процесс включает в себя нагрев множества полупроводниковых пластин, для оказания влияния на их электрические свойства. Термическая обработка направлена на достижение различных эффектов. Пластина может нагреваться для активации легирующих веществ, плотности осажденной пленки и изменения состояния выращенной пленки. Воздействие высоких температур может устранить повреждения в структуре плёнки. Этот процесс называется отжигом. Отжиг может быть интегрирован в другие этапы обработки внутри печи, такие как оксидирование, или может проходить отдельно.

 

---

 

Область применения	Вакуумная камера
Полупроводники. МЭМС. Нанотехнологи. Светодиоды. Фотовольтаика. Плоские дисплеи.	Контроль температуры кварцевой трубки с помощью нагревательного змеевика и фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением. Конфигурация печи: горизонтальная с загрузочным механизмом. Ручная дверца печи с обзорным окном.
Конфигурации и преимущества	Опции
Диаметр трубки: до 300 мм. Одиночная или кассетная загрузка (до 50 пластин). Точность управления температурой :< ±1 °C. Рабочий газ (опционально): N2, Ar, H2. Максимальная температура: до 1700 °C. Опционально ловушка для воды и крио ловушка. Легко очистить и обслуживать.	Система автоматического перемещения пластин.