+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw

Продукты

Трубная печь

 

 
 

Печь отжига - технологическое оборудование, используемое при изготовлении полупроводниковых устройств. Процесс включает в себя нагрев множества полупроводниковых пластин, для оказания влияния на их электрические свойства. Термическая обработка направлена на достижение различных эффектов. Пластина может нагреваться для активации легирующих веществ, плотности осажденной пленки и изменения состояния выращенной пленки. Воздействие высоких температур может устранить повреждения в структуре плёнки. Этот процесс называется отжигом. Отжиг может быть интегрирован в другие этапы обработки внутри печи, такие как оксидирование, или может проходить отдельно.

 


 

Область применения Вакуумная камера
  • Полупроводники.
  • МЭМС.
  • Нанотехнологи.
  • Светодиоды.
  • Фотовольтаика.
  • Плоские дисплеи.
  • Контроль температуры кварцевой трубки с помощью нагревательного змеевика и фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением.
  • Конфигурация печи: горизонтальная с загрузочным механизмом.
  • Ручная дверца печи с обзорным окном.
Конфигурации и преимущества Опции
  • Диаметр трубки: до 300 мм.
  • Одиночная или кассетная загрузка (до 50 пластин).
  • Точность управления температурой :< ±1 °C.
  • Рабочий газ (опционально): N2, Ar, H2.
  • Максимальная температура: до 1700 °C.
  • Опционально ловушка для воды и крио ловушка.
  • Легко очистить и обслуживать.
  • Система автоматического перемещения пластин.