為了因應快速的實驗和有限的空間，SYSKEY針對2吋玻璃和矽晶圓基板開發出極小型設備。Mini Line是用於小批量生產的實用製造系統。通過使得更容易生產少量的元件，這是研究人員期望的新型研究和開發，並且可實現少量的多樣化產品，而且其設備體積小不佔用空間。

對於SYSKEY的Mini Line系統，包含熱蒸鍍、濺鍍、電漿輔助式化學氣相沉積、電漿輔助式原子級沉積、乾蝕刻機、感應耦合電漿蝕刻、電子束蒸發，並可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載台溫度)，並提供高品質的薄膜。