+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw
MENU

Продукты

  • Home

  • Продукты

напыления ЖК-экранов

OLEDs-дисплеи

OPV / Перовскитовая солнечная батарея

Полупроводники

Научные исследования свойств материалов

С увеличением размеров жидкокристаллических экранов и необходимостью производства стёкол соответствующих размеров производственное оборудование также стало крупнее, требуя все больших инвестиций. Компания Syskey разрабатывает кластерные установки магнетронного напыления для экранов малого и среднего размеров. Она имеет четыре независимые камеры напыления, что позволяет клиентам произвольно подбирать материалы для напыления, имея при этом быструю и недорогую систему.



 

 

Области применения  
  • TFT-LCD.
  • Солнечный панели.
  • Сенсорные экраны.
  • Исследования оксидов, нитридов и металлов .
  
Конфигурации и преимущества Опции
  • Различный размер подложки до 550 x 650 мм2 (стекло).
  • Отличная равномерность нанесения ниже ±5%.
  • Нагрев подложки до 400 °C со контролем стабильности температуры.
  • Порт для кассетной загрузки.
  • Очистка подложки плазмой.
  • Запасной порт для OES, RGA или др. дополнительного мониторинга процесса.

 

 

 

 

 

 

 

application field

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

магнетронного напыления

Магнетронное напыление – это метод нанесения тонких пленок посредством распыления материала мишени в плазме магнетронного разряда.

Совместное напыление

Совместным называется одновременное магнетронное напыление с двух и более мишеней. Применяется для получения композитных материалов и компаундных сплавов.

PVD для многослойных покрытий

Условия сверхвысокого вакуума крайне важны для научных исследований, поскольку эксперименты зачастую требуют обработки поверхностей высокой степени чистоты на все время процесса напыления.

PVD в сверхвысоком вакууме

Высококачественный многослойные пленки становятся все более важными при производстве высокоточных систем, где однослойные тонкие пленки уже не позволяют добиться требуемых характеристик.

Конвейерная PVD-установка

Система конвейерного магнетронного напыления предназначена для автоматического перемещения подложек относительно одного или нескольких катодов для получения требуемых тонкопленочных покрытий.