магнетронного напыления
Магнетронное напыление – это метод нанесения тонких пленок посредством распыления материала мишени в плазме магнетронного разряда.
PVD в сверхвысоком вакууме
Структуры из многослойных плёнок повсеместно используются в электронике, а более прецизионные устройства задают все более строгие технические требования: и к освещению, и к звуку, и к электронным компонентам. Высококачественные многослойные плёнки приобретают все большее значение в прецизионных системах, тонкая плёнка из одного материала не может удовлетворить требуемые технические характеристики. Поэтому разработка новых материалов и процессов точного контроля тонких пленок стали важным направлением исследований многослойных тонких пленок.
Для установки многослойного напыления SYSKEY разработан планетарный механизм вращения подложек, с помощью которого можно получить качественную многослойную структуру для условий массового производства.
Механизм вращения подложек позволяет получить прецизионную
многослойную тонкоплёночную структуру.
Область применения | Вакуумная камера |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|