Syskey Technology Co., Ltd.

Продукты

Установки для создания плоских дисплеев

OLEDs-дисплеи

OPV / Перовскитовая солнечная батарея

Полупроводники

Научные исследования свойств материалов

С увеличением размеров жидкокристаллических дисплеев и необходимостью производства стекла, производственное оборудование также стало крупнее, требуя ещё больших инвестиций. Оборудование компании Syskey предлагает технологическое решение для процесса получения аморфного кремния (a-Si), оксида кремния (SiOx), нитрида кремния (SiNx), оксинитрида кремния (SiON) и получения многослойных структур.

Область применения
Аморфный кремний (a-Si). Нитрид кремния (SiNx). Оксид кремния, на основе силана (SiOx). Оксид кремния, на основе TEOS (SiOx).
Конфигурации и преимущества	Опции
Различные размеры подложки габаритами до 550 x 650 мм2 (стекло). Отличная равномерность плёнки менее ±3%. До 6-7 газовых линий в рабочей камере. Очистка камеры с использование м источника отдаленной плазмы. Нагрев подложек до 380 °C со стабильным температурным контролем.	Порт для кассетной загрузки. Запатентованная система испарения TEOS (TVS) для нанесения TEOS. Запасной порт для OES, RGA или дополнительного процессного мониторинга.