Сухое травление
Сухое плазменное травление (или просто "сухое травление") – это процесс удаления материала с поверхности другого материала с помощью плазмы.
Атомно-слоевое травление ALE
Атомно-слоевое травление (ALE) - передовая технология травления, позволяющая точно контролировать глубину процесса. Поскольку функциональные размеры устройств всё время уменьшаются, требуется дальнейшее использование ALE для достижения желаемой точности.
Это привлекло внимание к технике, называемой атомно-слоевым травлением (ALE), которая преодолевает ограничения обычного (непрерывного) травления на атомарном уровне. Плазменное атомно-слоевое травление представляет собой периодический процесс травления путем газовой имплантации и ионной бомбардировки и имеет потенциал для удаления одной тонкой пленки с очень небольшим повреждением.
3D Fin-TFT
Область применения | Вакуумная камера |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|