Установка электроннолучевого напыления от компании Syskey — это практичная и высоконадежная система. Наша система может использовать один большой тигель для условий массового производства или несколько тиглей для достижения многослойной пленочной структуры. Мы поддерживаем направления исследования полупроводниковых материалов и проектируем крупногабаритное оборудование. Планетарная система вращения для одной или нескольких подложек помогает управлять скоростью напыления и толщиной пленки, а однородность составляет менее ±3%.

Для большей универсальности процесса можно интегрировать ионный источник для ионно-плазменного напыления или предварительной очистки.