Плазмохимическое травление

Плазмохимическое травление (т.н. «сухое» плазменное травление) - процесс удаления материалов с поверхности другого материала путем взаимодействия ионов с материалом и удаления материала без использования жидких химикатов. Это более направленный или анизотропный процесс по сравнению с жидкостным травлением, что позволяет уменьшить дефекты и обеспечить лучшие характеристики приборов.     

Рисунок 1: Технология производства голограмм методом плазмохимического травления

Сухое травление в настоящее время широко применяется для анизотропного травления структур с высоким аспектным соотношением, например, глубоких отверстий или углублений в конденсаторах. По сравнению с жидкохимическим методом, этот процесс является полностью безопасным и экологически чистым. Оборудование для плазмохимического травления применяется как для исследований, так и для крупносерийного производства, при этом имеет достаточно компактные размеры по сравнению с линиями для жидкохимической обработки.