+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw

Продукты

E-Beam в сверхвысоком вакууме

Установка сверхвысоковакуумного электроннолучевого напыления (UHV E-beam) характеризуется значениями давления ниже, чем 10-8 - 10-12 Торр, и обычно используется для проведения химических, физических и инженерных экспериментов.
Сверхвысоковакуумная среда очень важна для научных исследований, поскольку такие опыты зачастую требуют поддержания поверхностей в полностью свободном от любых загрязнений состоянии на протяжении всего процесса, а также использование низкоэнергетических электронных и ионных экспериментальных методов без чрезмерных помех от рассеивания от газовой фазы. Установка сверхвысоковакуумного электроннолучевого напыления производства Syskey позволяет получать высококачественные тонкие пленки.

 

 

 

 

Поворотный механизм напыления подложки для условий сверхвысокого вакуума и высокотемпературного нагрева, использует керамические вращательные элементы, а также замкнутое водяное охлаждение для защиты механизма и обеспечения его надёжной работы на долгий срок.

 

 

 


 

Область применения Вакуумная камера
  • Материалы для оптоэлектроники (LED/лазерные диоды).
  • Устройства передачи.
  • Полупроводниковые устройства.

 

  • Габаритные размеры зависят от размера подложки и конечного применения оборудования.
  • Металлическое уплотнение камеры и нагрев стенок до 150 °С.
  • Предельное давление в камере примерно 10-10 Торр.
Конфигурации и преимущества Опции
  • Различный размер пластин диаметром до 200 мм.
  • Отличная равномерность плёнок - менее ±3%.
  • Мультикассетные вращающиеся источники (1/2/4/6 тиглей).
  • Автоматическое управление скоростью осаждения.
  • Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением.
  • Охлаждение подложкодержателя (жидким азотом до -70°С) или нагрев (до 800°С).
  • Интеграция со шлюзовой камерой, роботом-манипулятором для перемещения подложек, перчаточным боксом.
  • Возможность совмещения с ионным источником, испарителем, электронной пушкой, плазменной очисткой или с ассистированием.